Máy quang phổ huỳnh quang tia X trên thị trường có thể chia thành 2 loại: Máy quang phổ tán xạ năng lượng tia X và máy quang phổ tán xạ bước sóng tia X.

So sánh máy quang phổ tán xạ năng lượng (EDX) và máy quang phổ tán xạ bước sóng (WDX)

So sánh	Loại Năng lượng tán xạ (EDX)	Loại bước sóng tán xạ (WDX)
Lĩnh vực sử dụng	Công nghiệp	Nghiên cứu
Kích thước	Nhỏ	Lớn
Đặc điểm	Nhỏ gọn và không quá đắt	Kích thước lớn và đắt
	Có thể phân tích nhiều nguyên tố tại cùng 1 thời điểm	Có khả năng phân tích ở độ chính xác rất cao
	Chủ yếu phân tích ở áp suất thường	Chủ yếu phân tích ở áp suất chân không
	Thời gian phân tích ngắn	Thời gian phân tích dài

Đặc điểm của Máy quang phổ tán xạ năng lượng tia X (EDX)

Huỳnh quang tia X phát ra từ mẫu sẽ đi vào phần tử cảm biến bán dẫn tại cùng thời điểm. Sau đó, sự tính toán cho từng nguyên tố (từng mức năng lượng) được tiến hành thông qua xử lý tín hiệu điện và quang phổ huỳnh quang tia X thu được. Với máy quang phổ EDX, nhiều nguyên tố có thể được phân tích cùng lúc.

Nguyên lý máy quang phổ năng lượng tán xạ tia X

ảnh 3: Nguyên lý máy quang phổ năng lượng tán xạ tia X

Đặc điểm của máy quang phổ tán xạ bước sóng X (WDX)

Huỳnh quang tia X phát ra từ mẫu sẽ đi qua khe hở vào buồng đơn sắc. Buồng đơn sắc và Detector liên kết với nhau trong khi duy trì góc liên kết θ, 2θ như hình bên dưới. Chỉ những huỳnh quang tia X có bước sóng thõa mãn mối tương quan này được đưa vào detector. Vì bước sóng của huỳnh quang tia X có thể chiết ra phụ thuộc vào θ. Phổ huỳnh quang tia X có thể đạt được bằng sự chuyển dịch liên tục θ.